二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-30 #293655446 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-30
ID: 293655446
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-30是在半导体工业中设计和使用的先进晶圆测试和计量设备。该系统对晶片的线宽、表面粗糙度、芯片覆盖率等特性进行了准确可靠的测试和测量。凭借其集成的高分辨率成像,KLA RS-30能够检测到各种半导体晶片中的细微缺陷和其他异常。该单元使用自动化视觉技术来捕获数千个单独的图像。使用高级算法处理这些图像,生成晶圆的详细缺陷图。然后,这些映射可用于评估度量,如晶圆电气、光学和机械性能。TENCOR RS-30提供了一系列全面的测试功能。它具有用于成像、分析和缺陷检测的高级系统。该机具有集成光学显微镜、激光干涉测量等可用于测量微妙晶圆特征的计量能力。它的成像功能使用户能够收集各种晶圆材料的高度详细的图像。PROMETRIX RS-30还具有一系列用于测量各种晶圆属性的模态分析工具。这包括共振频率等力学性质,以及介电和机械常数等材料性质。这些算法用于识别点缺陷、位错、粒子沉积以及蚀刻阻力增加的局部区域等项目。除了成像能力外,RS-30还拥有先进的数据分析包。此工具用于处理图像并生成晶圆属性的精确表示。该资产可用于评估各种材料和电气特性。这包括全面的缺陷图和过程控制报告。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-30晶片测试和计量模型是一种先进的工具,为用户提供无与伦比的晶片表征精度和可靠性。它的综合工具和系统使用户能够最精确地测量和分析晶片特性。凭借其先进的缺陷检测和成像能力,KLA RS-30使得晶片表征和分析过程既高效又高度可靠。
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