二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293628450 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一种晶圆测试和计量设备,设计用于检查和测量半导体基板和器件。该系统具有多种功能,可提供最高的性能、准确性和最佳的阵列晶圆测试和计量吞吐量。KLA RS35利用六轴机器人级和高分辨率干涉测量装置,使其能够测量厚度、平坦度、均匀度等广泛的晶圆特性。此外,该单元还配备了非接触散射法、投影柱头法、激光衍射等高精度计量技术。它还具有高分辨率成像机,可提供高级成像功能,如小几何形状的测量、详细的表面纹理等。该工具由于其集成的体系结构而高度可靠且无维护,不需要传统的光学系统。此外,通过自动化的一流数据处理和分析增强了资产的性能,从而实现了最高的生产效率和一致性。TENCOR RS 35还提供了一系列高级功能,可进一步提高准确性和生产率。其中包括针对特定任务(如层厚度测量、线宽测量、CD不匹配测量等)的高级分析功能。它还具有增强的可视化和先进的照明技术来分析图桉。此外,该模型还配备了专门的分析系统,如用于可靠性测试的过程控制设备和用于设备和电路表征的CMOS成像系统。TENCOR RS35是一个先进的高性能晶片测试和计量单元,能够在图样晶片测试和计量中提供最高的精度和吞吐量。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35具有全面的特性、先进的分析功能以及增强的可视化和照明技术,是任何晶圆测试或计量应用的完美解决方桉。
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