二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293798689 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一种晶圆测试和计量设备,用于提供一个全面的非接触式计量平台,能够精确测量硅晶圆上200 mm大小的器件参数。该系统采用抑制人工智能（AI）技术、先进的模式识别算法和高分辨率成像相结合的方式来识别、隔离、精确测量半导体器件的物理特性。KLA RS35单元具有多种功能,旨在提高吞吐量和准确性,包括一台双模成像机,能够快速、高效地测量晶圆和区域一级的地形。此功能可精确分析局部和全局特征,高度和宽度测量功能的精度为1 nm。TENCOR RS 35还集成了一个下一代成像工具，专门设计用于提供高分辨率映射和分析小至60 nm的关键模式特征。这样可以精确地表征接触和闸门结构以及其他关键设备元件。此外，高效的图像处理引擎能够快速处理从各种晶圆结构中收集到的数据，并便于识别与制造半导体的过程有关的独特结构。RS 35还包括一个高级数据分析包,通过将实时图像校正以及自动处理与软件驱动的智能相结合,改进了现有方法。这使资产能够迅速适应不同的检查类型，并确定现有方法可能遗漏的细微模式。最后,PROMETRIX RS 35具有直观的操作员界面和高度自动化的晶圆处理模型,可为多达50个晶圆级提供可靠的支持。这使得设备比需要手动装卸晶片的系统更有效率和生产力。RS35是一个功能广泛、功能强大的半导体器件表征和分析系统。它提供了具有高分辨率成像单元、图像处理引擎和高级数据分析软件的快速、准确的设备参数测量。凭借直观的操作员界面和自动化的晶圆处理机，它易于使用，提供了更高效、更高效的制造解决方桉。