二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9156670 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35晶片测试和计量设备是为集成电路制造商设计的,这些制造商需要可靠、准确和强大的晶片测试、检验和计量解决方桉。该系统由几个模块化组件（晶圆处理程序、定制控制单元、光学和机械计量工具以及各种传感器）组成,这些组件可以定制以满足特定设备测量和测试配置的需要。集成晶圆处理程序提供精确、可重复的200毫米晶圆运动与三轴运动控制机器，允许快速晶圆定位和旋转。对于晶片测试和检查，KLA RS35配备了先进的光学、机械和电气计量系统，包括：边缘检查工具、模具部署和故障识别资产以及模具分析模型。此外,TENCOR RS 35还包括可测量或检查集成电路特定特征或模式的高级计量工具Multi-Sensor Interchator （MSI）,以及用于测量晶圆表面拓扑的设备ASEC （Surface Topology Detector）。该设备还配备了4头光学显微镜和高速CCD探测器，用于捕获图像数据。此外,RS 35还包括多种高级过程控制解决方桉,如AutoScan（用于边缘检查、故障识别和模具测量的自动化系统）,AutoFocusPro（用于显微镜和计量系统的自动对焦单位）和AutoTrend（可实时监控测试机性能的灵活数据趋势软件）。集成的KLA RS-35软件套件提供对硬件、软件和数据管理的完整工具控制，包括晶圆跟踪、校准和存档。总体而言，RS-35晶圆测试和计量资产是一种用于高端晶圆测试和检验的综合设备，为集成电路生产提供可靠、全面的解决方桉。该型号的精确工具和智能过程控制,加上易于使用的软件套件,提供了无与伦比的性能和结果准确性,使设备制造商能够自信地生产出质量最高的芯片。