二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9194116 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35
ID: 9194116
Resistivity mapping system Tabletop.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一种晶圆测试和计量设备,旨在促进对薄晶圆薄膜和其他图案化表面的高效分析。该系统针对高吞吐量和精确度进行了优化,使其能够以最高的效率和最小的人工干预来处理大的生产量。该单元利用KLA专有图像处理软件和先进的光学计量工具,包括扫描电子和原子力显微镜,来测量薄膜在晶片表面上的性质。这包括来自小至0.1µm的样本的线宽、间距、临界尺寸和表面地形等索引。KLA RS35配备了自动自校准功能,可确保成像机的精度,并有助于以最小误差确保精确测量。TENCOR RS 35的设计是为了应对复杂的缺陷形状和晶圆的变形分析和电测试。这允许它检测细微的缺陷,如短裤,打开,和线缘粗糙度。它还包括一个复杂的特征识别模块,能够高速识别线条边缘、通孔和拐角等特征。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35包括许多其他功能,旨在最大程度地提高用户的工作效率。其中包括LCD触摸屏、手动覆盖选项、实时流媒体以及测量的完全可追踪性。这些功能能够快速收集和分析晶圆,从而节省大量时间。PROMETRIX RS 35也具有很高的适应性,允许用户定制自己特定的晶圆测试和计量需求。该工具兼容多种晶圆尺寸、各种类型的光学工具、几种类型的机器人晶圆处理程序以及广泛的显微镜和SEM成像区域。KLA RS 35是那些寻找可靠、高通量晶圆测试和计量资产的人的理想解决方桉。凭借其最先进的功能、自动化的操作和多用途的设计,该模型成为当今市场上最高效、最具成本效益的模型之一。
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