二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284324 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一种提供高级计量能力的高精度晶圆测试和计量设备。该系统提供晶片表征、过程控制以及缺陷审查和分析,对晶片和可用设备提供最详细和准确的分析。它使用最先进的图像采集单元快速捕获2-D和3-D图像，最多1000 x 1000像素。KLA RS35自动引导操作员完成每一步，并将高分辨率的光学机器与电动级结合在一起，扫描范围可达10厘米。它配备了先进的算法，以确保在扫描过程中的自动特征识别和优化。TENCOR RS 35旨在帮助开发半导体晶圆上的高精度器件特性，如平面结构、线宽、阶梯高度和梯田结构。它配备了一系列的计量工具，包括光学散射法和傅立叶变换红外光谱，用于更适当的表征。这些工具的组合可以全面可视化正在研究的设备，以及对其各种属性进行非常精确的测量。KLA RS-35还配备了用于数据分析的软件工具,如缺陷、图像和参数计算,以及用于数据报告和管理的所有必要工具。它的数据分析功能允许通过实时3-D产品可视化检测缺陷和不规则性。此外，它可以连接到其他KLA系统，允许自动程序传输和增强数据同步。总体而言，RS-35是一种高度先进的工具，配备了晶圆测试和计量方面的最新技术和资源。其性能、精度和易用性使其成为分析和开发半导体晶片高精度器件特性的理想选择。