二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284480 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆的制造和测试。它是一种多功能、高性能的系统，用于测量和检验多种半导体材料，如硅、的、的、的、的、的。该单元结合了先进的光学、电气和热探测技术,提供有关晶圆表面形态、电性能和化学成分的关键信息。KLA RS35提高了晶片测试的准确性和精确度,使用户能够对晶片表面特征的完整性做出高水平的定量和定性决策。TENCOR RS 35具有高分辨率、自动化的测试工具，包括二维光学探针扫描和电气测试，以及用于精确现场测量的集成在线计量系统。机器的二维光学探针扫描功能为用户提供了测量表面地形和诸如划痕、颠簸和凹坑等检测特征的能力。电气测试使用户能够测量各种晶圆材料的电阻、电容、电感和电流泄漏。此外,计量系统允许自动测量关键尺寸,包括单个层的厚度、实际层和特征大小以及沟槽的深度。TENCOR RS35可以在多种模式下操作,以适应不同制造工艺和材料的需要,从而确保最佳的刀具性能和鲁棒性。这些模式包括手动操作、自动化操作和集成批处理模式,用于更大的生产运行。其先进的冷却功能可提高工艺可靠性,并保持适合选定晶圆材料的温度。此外，综合定位系统使被测试晶圆的对准更加容易和精确，以确保准确性。此外,该资产采用模块化体系结构进行设计,允许用户配置KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35以满足其特定行业的特定要求,包括材料、流程和应用程序。这使客户能够创建定制的解决方桉,以满足他们的特定需求。总体而言,PROMETRIX RS35晶片测试和计量模型为各种半导体晶片制造和测试应用提供了最先进的精度、精确度和可靠性。其先进的光学、电气和热探测功能,以及集成的计量系统,为客户提供了有关其晶圆表面特征的关键定性和定量决策所需的信息。