二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #293795434 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是一种晶圆测试和计量设备,为确保半导体材料的质量而建造。该系统采用具有全彩成像能力的高分辨率3D光学非接触式扫描显微镜,以纳米级精度提供晶片和模具的精确测量和可视化。KLA RS-35C使用户能够快速准确地测量晶圆和其他半导体基板上的尺寸和位置。TENCOR RS 35C具有先进的计量功能库,包括基于中程传输控制的干涉测量TSIC™、高级模式识别以及用于特征分析、缺陷检测和层厚测量的高级算法。该单元的测量范围非常广泛,从1 nm到几百微米。它还配备了双晶片级,在两个晶片上同时运行,以更快的分析和高吞吐量。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 35C还具有独特的基于算法的缺陷搜索,它提供了一种定位和识别最困难缺陷的有效方法,尤其是对比度低的缺陷或嵌入复杂结构中的缺陷。该机还具有纳米级分辨率、0.5nm z轴验证能力、承受高达200 °C的温度的能力,以及高度可靠、卫生的钛包层级样品表面。该工具使用了一套功能强大的软件程序,这些程序的设计使晶圆测试和计量操作极其精确和高效。其直观的用户界面可帮助用户快速识别、查找和分析示例缺陷,并使用易于遵循的命令指导用户完成该过程以获得最终的准确性。PROMETRIX RS-35C是市场上最先进的晶圆测试和计量资产。它在设计上满足了半导体工业的严格要求,同时提供了一个高效、精确的测量平台。它以经济、高效和可靠的方式确保最高质量的结果。
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