二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9266468 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是一种晶圆测试和计量设备,旨在实现半导体晶圆和器件的自动化测试和分析。该系统采用激光扫描、自动缺陷识别和分类、临界尺寸（CD）测量以及高级缺陷分析，以便对半导体结构进行剖析和表征。KLA RS-35C单元利用具有可变入射角的非接触式激光扫描显微镜，生成被测设备的详细地形图像。该显微镜与多轴电动级相耦合，用于高速、360度自动晶圆扫描。该机基于软件的智能缺陷检测算法进行了广泛的图像分析，以检测、分类和存储缺陷。这种智能缺陷检测算法还能够生成带有缺陷分布和产量评估详细指标的检测报告。TENCOR RS 35C还具有强大的CD计量能力，其中包括对一个设备的线条、空间和其他微型特征的快速而精确的测量。该工具利用光学显微镜和高速视频图像处理资产快速测量和分析CD特性。在CD测量之后，模型的软件提供CD测量的全面统计分析，以监测产量性能和趋势。除了CD计量功能外，RS-35C还配备了先进的过程控制和故障设备分析工具。它配备了缺陷分析仪,具有增强的红光成像和硬件加速图像处理功能,可识别和分析故障设备。分析报告包含用于过程控制的详细缺陷度量,以及用于缺陷设备分析的设备级别分析。总体而言，RS 35C是一种可靠高效的晶圆测试和计量设备，在一个平台中结合了非接触式激光扫描、自动缺陷识别、CD计量、过程控制和故障设备分析。该系统能够对半导体器件和晶片进行高速、彻底的检查和分析，有助于确保敏感半导体器件的可靠性能。