二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9276502 待售
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ID: 9276502
Resistivity mapping system
4-Point probe
Vacuum: 300 mmHG
Hard disk
PC
Color monitor
XY Pattern test
Measurement range: 5 mΩ to 5 mΩ
Maps: Average, difference, and ratio
Calibration curves and correlation equations
Trend and SQC charts
Data import and export
ASCII Copy to diskette
Measurement options: Mapping (up to 625 sites)
Qualification test:
Contour maps
3D Maps
Diameter scans (Up to 625 sites)
Quick tests: standard and user-definable tests (up to 30 sites)
Accuracy:
± 0.2% (Standard resistor)
± 1% (NIST Wafer)
Repeatability : <0.2% (1 sigma)
Power supply: 115 / 230 V, 8 A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是一种高性能晶圆测试和计量设备,旨在满足对准确性和可重复性的最严格要求。它由一系列组件组成，可自动、加速和极其精确地测量与半导体材料有关的各种特性。该系统的第一个元件是其光学区域传感器，它是精确检查单个晶片的结构和特征的基础。它是一个扫描仪单元，包括一套特殊的光学、电子和软件，能够对晶圆的小部分进行详细的测量，甚至达到纳米尺度。由于能够以最小的特征尺寸测量各种参数，这台机器可以以多种速度和分辨率扫描，快速准确地测量宽度和深度等晶圆特征特征。该工具的Optical Reticle允许对晶圆图样进行完整的3维分析。这项资产非常精确，能够将各种模式分析到纳米分辨率水平。光学标线还采用特殊的光学和软件，可以非常精确地确定晶圆表面上的粒径。该模型还包含一个MicroStepper设备，用于多向测量晶圆表面上微米大小的设计特征，即使在存在焊料颠簸和污迹等物体的情况下也是如此。由于能够从两个或多个方向进行测量，该系统能够以高精度测量到纳米尺度。KLA RS-35C单元还包括AutoAlign机器，这是一种精密的算法，旨在快速准确地将扫描仪和光学标线的光学元件与晶圆表面上的任何图桉对齐。这样可以确保工具进行的每个测量都是精确且无误差的。最后，该站包括一个Vacuum Chuck资产，确保晶片在测量时完美平行和水平。这是极为重要的，因为即使晶圆位置的微小变化也会导致结果的不精确。总之，TENCOR RS 35C为高精度晶圆测试和计量提供了解决方桉。利用其组件套件，包括光学区域传感器、光学标线、MicroStepper、AutoAlign和Vacuum Chuck，这个模型被设计为为任何测试的晶片提供极精确可靠的分析。
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