二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9281758 待售
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ID: 9281758
晶圆大小: 2"-8"
Resistivity mapping system, 2"-8"
4-Points probe
Vacuum: 300 mm HG
Hard Disk Drive (HDD)
PC
Color monitor
XY Pattern test
Measurement range: 5 mΩ to 5 mΩ
Maps: Average, difference, and ratio
Calibration curves and correlation equations
Trend and SQC charts
Data import and export
ASCII Copy to diskette
Measurement options: Mapping (Up to 625 sites)
Qualification test:
Contour maps
3D Maps
Diameter scans (Up to 625 sites)
Quick tests: Standard and user-definable tests (Up to 30 sites)
Accuracy:
± 0.2% (Standard resistor)
± 1% (NIST Wafer)
Repeatability : <0.2% (1 sigma)
Power supply: 115 / 230 V, 8 A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是最新的晶圆测试和计量设备,提供全面的分析和故障检测功能。它设计用于先进的工艺表征环境，如半导体制造和相关行业。该系统配备了一系列自动、非自动和半自动模式，使用户能够快速分析和处理晶片。该单元采用先进的高分辨率成像技术，具有先进的计量能力，包括增强对比度成像、缺陷检查、自动缺陷分类和缺陷检测。这台机器还使用户能够执行一系列自动测量,如线宽、临界尺寸测量、迭加测量和晶圆应力测量。集成的光刻功能使用户能够在整个晶圆区域创建精确的图样。该工具的另一个关键组成部分是其板载分析工具。KLA RS-35C利用一系列软件包帮助用户分析其数据。Wafer Mapping Asset、Simulator/Analyzer和Data Reviewer等工具可以方便而全面地检查晶圆表面。此外，该模型利用集成的图形用户输入进行参数优化，并采用一系列分析算法进行缺陷检测和分析。使用TENCOR RS 35C使用户能够准确、快速地收集相关流程数据。此外,这些数据可以与其他数据源结合使用,以创建全面的度量标准,使用户能够优化其过程控制参数。由于存在精确的检测和测量能力，这种设备还能够高度遵守既定的质量标准。总体而言，RS 35C是一个功能强大的晶圆测试和计量系统，使用户能够快速准确地收集过程数据。它具有一系列自动化和非自动化功能,再加上高分辨率的成像和计量功能,使其成为高级工艺表征环境的理想解决方桉。
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