二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9293257 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C晶圆测试和计量设备是一种功能强大、精度高、全自动的工具，用于评估半导体晶圆的表面拓扑。该系统利用各种先进的光学、机械和电气测量来提供有关晶片表面及其相关材料特性的详细信息。探头和测量头是高精度的工具，能够检测地形和基材质量的微小变化。KLA RS-35C单元能够执行各种表面测量和计量服务，包括但不限于表面粗糙度、接触角、表面轮廓、表面斜率、粒径、组成、表面粗糙度、表面纹理和火花放电测量。它还执行多种微观图像，如扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、扫描隧道显微镜（STM）。此外,该机器还执行缺陷检测、缺陷分类和设备几何,并提供硬件比较、全局和局部坐标的特征、3D分析和3D缝合。TENCOR RS 35C工具附有拉曼光谱选项，利用激光诱导的荧光探测晶圆表面的各种化学物质。资产还附有一个粒子计数器，从大小、形状、组成等方面测量粒子特性，以及接触角测量模型。后者采用光学技术测量材料与液体之间的接触角度。RS 35C设备是全自动和计算机操作的,提供一系列高级控制和处理功能。它构建在具有灵活运动控制组件的模块化体系结构上,允许高精度和自动化操作,从而实现快速启动时间。它还具有高级分析、数字图像和信号处理,以及用户友好的界面,可根据用户需求和应用程序轻松定制工具。RS-35C系统提供了具有前所未有的准确性、可重复性和可重复性的可重复和可靠的测量,使其成为评估半导体晶圆质量的理想工具。它具有灵活性和广泛的测量和分析功能,是半导体、汽车、航空航天、电子、光学和医疗等多个行业中晶圆测试的宝贵工具。