二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9298820 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C晶片测试和计量设备是一种自动化设备，对各种半导体晶片样品提供精确、可重复、准确的表征和分析。它具有三个功能：晶圆测试、计量和均匀性测量，它们都在一个平台上执行。KLA RS-35C晶片测试涉及监测样品的电特性，如直流、脉冲、响应时间、暗电流和表面噪声。这是通过使用系统的特殊探针卡,以及为测试提供电源和信号调节的Autostation 8辅助电路来实现的。探针卡能够执行30 kHz至20 MHz的测试频率,分辨率高达1Ω。TENCOR RS 35C计量单位测量试样的结构完整性和缺陷水平。其扫描电子显微镜（SEM）允许以高分辨率和放大倍率采集图像,并具有自动特征识别和分析功能。该机装有可变压力SEM，可测量轻质和重质沉积晶片。它还能够执行各种异位测量,例如斜率、轮廓和凹槽深度。最后,KLA RS 35C均匀性测量工具允许在设备的特定区域内快速测量样品的设备参数。这是通过使用先进的RGB模式识别资产实现的，该资产能够隔离诸如结泄漏、结击穿、阈值电压和环路电流等特征。总体而言，PROMETRIX RS-35C晶片测试和计量模型提供了一种表征和分析半导体晶片的可靠方法。它将三个不同的过程组合成一个紧凑的设备，从而使其成为各种应用的理想选择。它提供了测量样品不同特性的有效方法，使其成为工业实验室和研究设施的重要工具。