二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9354234 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C
ID: 9354234
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C是一种关键的半导体晶圆测试和计量设备。这种高度精确的系统使用户能够检查和分析晶片,晶片是半导体材料的薄片,用作制造集成电路的基板。KLA RS-35C拥有多项关键功能,提供最高级别的晶圆映射,可识别尺寸小于30nm的微小模式。此外,该单元还采用了基于图像的分类,提供了卓越的缺陷检测功能。高精度的TENCOR RS 35C使得它在计量、缺陷审查、晶圆分选、缺陷隔离和故障分析等多种应用中具有极大的应用价值。机器的成像能力使用户能够准确映射单个晶片特征并测量特征大小,从而能够对晶片进行详细的检查和分析。这有助于确保在提交生产运行之前识别运动、缺陷和污染。TENCOR RS-35C测量各种特征,包括晶圆表面地形,以及高度、CD/Width/空间和边缘参数的组合。该工具还能够测量粗糙度,包括平均值、峰值高度、峰谷距离和面积分析。RS 35C利用自动化晶片处理资产,允许通过整个过程成功处理晶片。收集晶圆特定的信息以进行后续测量,这使模型能够快速识别和检查传入的晶圆。为了进一步提高效率,设备可以配置多个晶片和工艺步骤。该系统由强大的数据收集和分析开放平台提供动力。数据是使用多种工程测量系统收集的,为用户提供实时数据。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 35C还使用了通用的SWIR(短波红外)成像单元,允许在晶圆表面上进行快速缺陷分析。因此,PROMETRIX RS 35C是一种强大而复杂的晶圆测试和计量机器.拥有多种测量系统、强大的开放平台和自动晶圆处理工具,RS-35C提供无与伦比的晶圆映射功能、缺陷检测和计量。KLA RS 35C的能力使其成为晶片制造极为宝贵的工具,其晶片特性的精确度和缺陷的分析可实现最高的生产产量和成本节约。
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