二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35E Omnimap #9187374 待售
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已售出
ID: 9187374
晶圆大小: 8"
Chuck, 8"
Flat monitor
Printer
Power conditioner
Hardware:
Vacuum: 300 mm Hg
Pressure: 50 psig (33 bar)
40 MB Fixed hard disk drive
3.5" Diskette drive, 1.44 MB capacity
Components:
386 SX Computer: 16 MHz
VGA Monochrome monitor
Dot matrix printer with buffer
PMX / Touch capabilities:
Trend charts
Ratio maps
Curve fitting
Data import and export
ASCII Copy to diskette
Measurement:
Contour, 3-D maps and diameter scans (up to 625 sites)
Quick tests: Standard and user definable tests (up to 30 sites)
Pattern tests (up to 1025 sites)
Data transfer:
Standard: SECSII Protocol data upload
Dual configuration switching
1.44 MB Floppy diskette
Manual included
Power requirements: 115 / 230V, <8 A, 50 / 60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35E Omnimap是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体生产和制造。该系统能够对晶圆的表面地形进行快速、准确和全面的分析。该单元具有自动聚焦和自动曝光成像机,以及自动进行多次3D测量和高分辨率成像。KLA RS-35E Omnimap由三个部分组成：舞台、光学工具和资产控制器。该型号采用大扫描台、小占地面积的设计，是生产线测试的理想选择。该级具有电动驱动设备，能够在一定速度范围内以精确的线性速度扫描扁平晶片。该系统采用空气轴承和差速级传动的组合，以获得最佳性能和精度。光学单元由高分辨率3D共聚焦成像头组成，可实现非球面特征的自动表面映射。它使用了获得专利的高分辨率激光自动对焦机，确保了表面测量的最高精度和准确性。数字成像工具提供4k像素分辨率的高分辨率光学成像,使用户能够高细节地可视化和分析表面拓扑。最后，TENCOR RS-35E Omnimap还配备了用户友好型资产控制器，具有图形化的用户界面和强大的软件。此软件包括多种3D测量功能,以及用于数据可视化、分析和报告的工具。PROMETRIX RS-35E Omnimap旨在提供可靠和准确的晶圆表面地形测量。它具有自动化的3D测量和高分辨率成像功能,是高级晶圆测试和计量的理想选择。该模型非常适合半导体的生产和制造，将确保最高的精度和精确度的表面测量。
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