二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50 #9298896 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50是一种晶圆测试和计量设备,专为产品开发、过程监控、故障分析和产量改进而设计。该系统以较高的速度和精度测量半导体晶片的地形特征和电性能。该单元将自动光学和电气计量功能结合到一个平台中。其光学计量功能利用自动化的3D非接触式干涉显微镜（3D NCI）进行快速、无缺陷、无损的表面地形测量。机器的无损电计量能力包括电场的高速测量、电阻率、电容和电流泄漏。KLA RS-50被优化用于测量包括绝缘子上硅（SOI）、应变硅、MEMS和高K电介质在内的多种半导体和电介质技术。该刀具测量从150毫米到700毫米晶圆的设备,并具有放置基板的表格,从而实现了可重复设置并提高了精度。TENCOR RS-50具有最先进的图像采集资产,可快速扫描和自动缝合晶圆图。它可以在1-2分钟内获取全晶片图像,并具有无掩码和自动缺陷审查的功能,分辨率可调至0.75 μ m。该模型的3D NCI技术提供了高纵横比特征的高分辨率映射，如隔离沟、接触开口和多晶硅沟。RS-50为过程控制提供计量反馈,使过程工程师能够改进当前过程或优化新的过程配方。该设备灵活的体系结构还使其能够轻松适应不断变化的技术和应用。PROMETRIX RS-50利用先进的技术（如EBBED板材电阻测量、调制光谱法和4点板材电阻测量）为用户提供全面的电气计量功能。它可以测量接触电阻、MOS电容器和其他电气参数，以及测量低至0.5 μ m的小几何形状。总体而言,来自KLA的KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50是一个先进的晶圆测试和计量系统,可为产品开发、过程监控、故障分析和产量改进提供快速可靠的测量。该设备的自动化光学和电气计量功能使用户能够可视化表面地形、分析电气特性并进行更改以提高设备性能和质量。