二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50e #9022721 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e是一种晶圆测试和计量设备。它专为前端半导体工艺控制和领先的器件性能优化而设计。该系统为平面和非平面曲面（如颠簸和沟沟）提供三维晶圆级映射和测量功能。KLA RS-50e单元提供了广泛的计量功能，包括临界特征大小的测量、覆盖配准、边缘检测和细线。它还能够测量设备产量统计，以及提供设备和过程分析。该机还能够进行有缺陷的模具分析。TENCOR RS-50e工具具有长距离显微镜，可用于测量非平面表面，同时提供高分辨率图像。该资产配备了专有的照明和图像强化（I3）技术,可在测量较小特征时增强对比度。该模型能够测量深沟槽和深V形沟槽。设备可扫描深度达8微米深。PROMETRIX RS-50e还拥有一整套自动化晶圆检查工具,以及诸如缝合和标签工具等手动操作。这允许用户执行广泛的晶圆分析任务。自动晶圆检测工具包括缺陷分类、模式识别、样本识别、边缘检测等。RS-50e还具有用于数据分析的高级系统功能,如实时统计分析、虚拟计量、数据集组织和可视化、自动测试例程设计和自动扫描调度。此外,该设备还配备了屈服加速器包（YAP）,该包将高级计量和晶圆验证工具与Yieldstar软件结合使用,以实现快速、准确的设备表征。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e晶片测试和计量机提供了一系列功能,从自动晶片检查到高级数据分析功能,用户可以监视和优化设备性能和过程控制。它是一种用途广泛且可靠的工具,能够全面测量关键特征大小、迭加配准和细线。全套高级工具和功能使用户能够最大限度地提高设备产量和性能。