二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293651524 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是一种最先进的晶圆测试和计量设备,旨在为各种半导体材料提供高分辨率测量。该系统可用于检测和分析晶圆表面的缺陷，以及用于粒径和污染测量。KLA RS-55TC建立在四轴横向舞台上，主轴位于左侧、右侧和中心。这允许了多种样本位置和相对定位，从而可以在单个晶圆中同时进行大量的测量。它还配备了两级高精度XY平移级，能够将探针/样品精确定位在10 μ m以内。该单元还配备了高分辨率光学和视频显微镜、激光检测仪，以及一台失焦检测（OOD）机。集成显微镜提供了完整的视场图像以及高达45倍的放大倍数,从而能够清晰、详细地获取图像以进行缺陷分析。激光检测器可以确定缺陷在样品上的确切位置，而ODD工具能够快速验证缺陷的实际尺寸。该资产由专门为晶圆级分析设计的强大计量工具提供动力。该模型的广域扫描光学器件配有高速数据采集和分析软件，能够快速准确地测量晶片级表面特征，如晶格结构、表面地形、薄膜、缺陷等。数据分析包还可以生成参数化图像和3D表面粗糙度剖面,并提供半导体晶片上各种曲面图样和特性的精确、高分辨率数据。TENCOR RS55/TC是一种高度可靠和灵活的设备,既具有高吞吐量,又具有高精度。它非常适合先进的应用，如缺陷检测和工艺控制，以及半导体晶片的工艺开发和产品鉴定。该系统还符合SEMI S2-97（需要两个独立的光学传感器）、SEMI S8-99和SEMI S14-96等行业标准。
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