二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293742667 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是最先进的晶圆测试和计量设备。它设计用于检查和分析各种尺寸和材料的晶片，从6英寸到300毫米。该系统能够识别从微树突到层内缺陷的缺陷，精度高，精度高。KLA RS-55TC利用扫描电子显微镜（SEM）、光学显微镜（OM）和反射光显微镜（RLM）等标准和先进的图像采集技术进行多种计量和成像测量。该装置具有自动晶片对准和预对准功能，非常适合高吞吐量和大型晶片测试。该机配备了专有缺陷识别算法，以及化学机械抛光（CMP）分析工具。缺陷识别算法旨在检测和识别半导体晶片中存在的缺陷，具有高精度和重复性。CMP分析资产能够对晶圆表面进行复杂的表面剖析,从而能够随时间不断检查化学过程。TENCOR RS55/TC晶圆测试和计量模型包括广泛的计量检验工具、软件和可视化功能。该设备允许用户快速检查一系列晶片类型，如SOI、SiN、SiON、光刻胶和金属。高级可视检查和分析软件为用户提供了有关缺陷、表面或材料属性的精确信息。该系统还包括工艺监测和控制、高速采样率和晶片勘探、缺陷分类和特征提取、缺陷密度系统、迭加和晶片对准、统计数据审查能力、多站点映射和缺陷分析等各种可信的生产能力。结合所有这些功能,TENCOR RS-55/TC能够为各种晶圆测试和计量任务提供高精度和重复性。