二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293778456 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆及其元件的精确测试和测量。该系统采用高精度、基于视觉、非接触技术,可对晶片上的各种特征进行精确、可重复的测量,包括横向和垂直尺寸、层厚度、表面粗糙度、缺陷面积等。该单元还包括功能强大的软件工具,允许进行广泛的测试和分析,例如数据处理、实时异常检测和自动产量分析。KLA RS-55TC由光学光栅扫描仪（RS）模块和显微镜跟踪器（MT）模块两部分组成。RS是一个大型扫描平台，通常安装在显微镜机上。它使用数码相机和线性马达以一致的速度在晶片上移动舞台，而四个独立相机则在多个平面上拾取晶片表面的图像。MT模块使用四个激光器跟踪显微镜的位置，使其能够精确测量晶圆的深度和表面形状。该工具还与KLA软件集成,为用户提供了一整套数据分析工具。使用该软件,用户可以分析晶片的多个区域,以查找单个缺陷和异常,快速识别数据中的趋势和模式,并使用复杂的特征识别算法自动进行缺陷分类。该软件还包括识别和测量多层的高级跟踪功能，使用户能够准确分析诸如通风孔和微型颠簸之类的结构。此外,资产还配备了安全内存包,用于安全存储和共享测试结果。总体而言，TENCOR RS55/TC是一种先进的晶圆测试和计量模型，具有广泛的特点。通过将精密扫描和测量技术与强大的软件工具相结合，该设备能够在从研发到生产测试的各种应用中提供快速、准确的结果。