二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9077700 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是为半导体行业量身定制的先进晶圆测试和计量设备。用于快速、准确地检测和测量器件级半导体晶片。该系统具有分析各种晶片属性的能力,包括模具尺寸、模具间距、活动区域、缺陷密度、设备轮廓、线宽和特征尺寸均匀性。KLA RS-55TC单元具有精确的机器人阶段和先进的传感器,可进行高速测量。它可以在大于1,500 wpm的吞吐量水平下处理直径达8英寸的晶片。该机配备了自动晶圆映射器和多种测量或检查工具，包括CCD电视摄像机、电容探针、扫描电子显微镜和干涉仪都融入了单一的模块化平台。TENCOR RS55/TC工具提供多种计量相关能力，包括模级测量、模模测量或模对图比较；缺陷检测和分类；设备分析；横截面分析；3 D图像分析；以及基于图像的故障分析。它还可以执行广泛的内联过程控制功能，包括过程监控、实时缺陷检测和屈服筛选。PROMETRIX RS-55/TC拥有最先进的控制器,可显着提高性能和准确性。控制器非常精确,采用模块化设计,可轻松扩展资产功能。它还配备了先进的数据收集和存储模式，提供全面的审查、数据挖掘和报告能力。PROMETRIX RS 55/TC是一个功能强大、用途广泛且可靠的晶圆测试和计量解决方桉,它结合了自动化测试技术和精密测量工具方面的最佳产品。它保证了可靠、可重复和一致的测试和结果，有助于确保生产高质量的半导体器件。