二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9238630 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是为高通量生产测试和在线测量应用而设计的下一代晶圆测试和计量设备。该系统在经济高效的软件包中提供高级诊断功能,使制造商能够利用提高的产量和更好的缺陷控制。KLA RS-55TC单元的光学计量头提供了在晶圆表面和基板上发现的测试结构的表面和薄膜测量。它支持多种测量技术，包括自上而下和横截面傅立叶变换红外（FTIR）光谱、四点探针、干涉测量、暗场成像、手写笔和探针基技术，以及先进的单粒子光学细胞测量。还可以选择非接触光谱溶液，包括偏振光显微镜（PLM）、聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）和原子力显微镜（AFM）。这些技术允许详细检查各种材料特性,如表面粗糙度、晶体取向、晶粒尺寸、成分和热稳定性等。机器高度自动化，使用户能够一次快速准确地测量许多晶片。该工具配备了若干计量模块，使其能够同时进行测量，在不影响准确性的情况下大幅缩短了总体测试时间。此外,TENCOR RS55/TC资产具有强大的后处理功能,使用户能够快速分析传入的数据并生成详细的分析报告。该模型还被设计为与其他系统无缝交互，便于整合来自多个测试来源的测试结果。此外，它可以被编程为执行特定的自动测试计划，并允许远程调度测试程序。KLA RS55/TC是经济高效地满足大多数晶圆测试和计量要求的理想选择。它具有卓越的性能、广泛的功能和自动化功能,非常适合进行大批量生产测试和检查。对于正在寻找先进可靠平台以最大限度地提高产量并减少停机时间的厂商来说，这是一个绝佳的选择。