二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293607040 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
ID: 293607040
晶圆大小: 6"
Resistivity mapping system, 6" Resistivity probe: Sensing signal transmission and control system Wafer diameter, 4"-8" Measurement range: 5 m Ohm/sq to 5 M Ohm/sq Absolute accuracy: ±1% (Standard silicon wafer, 23°C) Measurement repeatability: <0.2% Measurement time: ≤ 60 Seconds (49-Point test, manual loading, single wafer, temperature compensation) Controller: Computer SECS Communication interface Inspection table stage: X-Y Direction: >200 mm Z Axis control Servo motor drive Transmission / Transfer: Fully automatic cassette to cassette Robot Alignment.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一个针对高级封装、MEMS和其他高性能、复杂结构量身定制的全自动、半导体晶圆测试、测量和计量平台。KLA RS55从头开始构建,在各种测试和测量应用中表现出色,可提供业界领先的准确性、可重复性和可用性。快速准确的TENCOR RS 55能够测量各种功能,包括线宽、导体尺寸和通硅通孔(TSV)。此外,该平台能够测量各种封装,包括芯片规模封装(CSP)、WLCSP(晶圆级芯片规模封装)和翻转芯片,以及各种IC和PCB。TENCOR RS55提供各种成像选项,例如反射、亮场和暗场,允许3D计量成像。此外,它的高级用户界面和直观的测量软件简化并加快了数据收集、分析和报告的速度。为了提高准确性,KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55还具有用于模具级分析的集成数字图像关联(IDIC)系统,以及专有的Coldfield™和Brightfield™成像系统,可实现无与伦比的弱光性能和改进的图像质量。此外,TENCOR RS-55还集成了扩展的景深模块,用于高性能静态计量应用。对于先进的计量应用,KLA RS 55包括一个具有自动对准和稳定性的集成干涉仪系统。通过功能强大的PROFINET/NET系统和API, RS55可以连接到各种外部设备,并可以现场执行复杂的测量。该平台具有四个集成的双轴级,可实现组件自动放置、元素对齐和晶圆映射。RS-55具有六种不同的系统,每种系统的设计都符合最高的质量和精度标准,可提供广泛的分辨率和速度能力。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55非常适合各种流程步骤,使客户能够最大限度地提高吞吐量和可扩展性,同时最大限度地减少产量损失。
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