二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293628451 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
ID: 293628451
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一种晶圆测试和计量设备,提供高清成像和分析功能。该系统通过测量晶片表面的电性能来进行高分辨率成像、缺陷检测和测量。单元上的七微米激光束使用多种既定的检测技术来分析样品的特性,包括光学/电气测量、微结构成像和3D轮廓计量。KLA RS55具有自动晶片测试和检查过程,支持正面和背面测量。晶圆样品装入机器,并用真空卡盘固定到位.然后将样品暴露在测量其表面特征和电性能的七微米激光束下。激光扫描阶段在通道之间移动样品,以确保对样品进行彻底扫描。所有测量都存储在数据库中,以后将在进一步分析中访问或使用。TENCOR RS 55使用专有的双头配置,有助于提供快速可靠的分析结果。该工具提供快速的3D扫描功能,可准确测量样品的高度、宽度和其他尺寸。这样可以更准确地检测缺陷并改进过程控制。该资产还配备了高级光学器件,能够对样品进行更详细的成像和分析。该模型还包含一个先进的缺陷成像和分析套件,使用高分辨率光学和信号处理技术来识别缺陷。软件套件包括自动缺陷定位、鸟瞰分析、截面成像和图像减法等工具。KLA RS-55利用先进的边缘检测和图像分割算法来实现更快、更高效的缺陷检测和分析。该设备还具有可靠、用户友好的工作流程,旨在在不影响准确性的情况下实现快速测试和计量。最后,系统具有板载数据分析功能。这有助于减少数据分析所需的时间和精力,并实现准确的数据检测。所有这些特性的结合使得KLA RS 55成为晶圆测试和计量的理想解决方桉。
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