二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293651677 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一种晶圆测试和计量设备,旨在分析半导体晶圆的性能和质量。KLA RS55使用先进的成像和精密的软件算法来评估晶圆表面的均匀性、芯片产量以及晶圆处理期间和之后集成电路的性能。该系统采用先进的晶圆扫描技术,专门用于半导体器件和晶圆分析。TENCOR RS 55中使用的光学器件利用具有数字像素阵列的电荷耦合器件(CCD),允许用户以0.5微米的分辨率捕获详细图像。该单元包含一个广泛的算法库,用户可以测量和分析各种参数,如边直度、孔集中度、角舍入、模具共边性和设计误差。结果将发送到主机进行进一步分析和日志记录。PROMETRIX RS55还配备了校准机,以确保数据的准确性和可重复性。这种自动化工具通过定期测量参考晶片以检测晶片质量随时间的变化来确保可重复结果。这使用户对使用资产进行的所有测量的准确性有信心。此外,该模型还包括一个加速设备,用于快速测量和分析每小时700个晶圆。这与智能自动错误处理和警报相结合,这些警报结合了用户定义的标准来识别出错。还可以使用高级数据分析和跟踪工具来确定可能表明流程故障或违规的趋势或模式。RS 55旨在满足半导体制造的苛刻性能和成本要求。它建立在模块化和可升级组件的框架上,既经济又易于扩展和维护。这个先进的系统可以帮助提高产量和工艺效率,使制造商能够领先于竞争对手。
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