二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293656290 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是为半导体制造中的应用而设计的高端晶圆测试和计量设备。它能够测量各种晶圆基板上的各种参数，包括光掩模、晶圆切丁框和其他包装材料。KLA RS 55的独特功能使其非常适合需要降低成本、提高吞吐量和提高产量的客户。TENCOR RS 55是专门为保证晶片分级和处理的准确性和稳定性而设计的。它具有视觉控制的表面策略算法和高速真空控制的装载站，使晶圆能够快速放置在指定的阶段。基板尺寸检测和探测器的自动对准可实现对一系列材料的高分辨率测量。此外,RS-55的多区功能允许同时进行多次测试,从而提高了系统的整体吞吐量。在计量方面，RS55配备了集成的数字模式识别，使其能够精确测量模式的临界尺寸和临界测试参数。它还提供自动化、无污点、横截面SEM和轮廓成像，以可视化晶圆的3D形态特征。此外,它的高级缺陷审查提供了一系列功能,可以大大加快检测和诊断缺陷的速度。此外,RS 55提供了一个集成的单元界面,允许用户在应用程序之间轻松移动,从而在处理复杂的测试作业时节省了时间和精力。它最多可以储存4000种可以重新使用和修改的计量配方，以保证可重复的工艺条件。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55还配备了先进的数据管理功能，允许用户维护和分析晶圆测试报告，使报告和维护生产记录变得更加容易。总体而言，TENCOR RS-55是一种先进的晶圆测试和计量机器，旨在降低成本，优化产量，提高半导体制造应用的吞吐量。它结合了智能功能和高级功能,使其成为当前最通用、功能最强大的系统之一,使其成为质量关键型操作的完美工具
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