二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293747952 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是为晶圆检验和计量设计的精密计量设备。该系统结合了两轴级、高级成像光学、软件控制的运动控制以及各种传感器和仪表，提供了对表面拓扑和缺陷特征的完整覆盖和表征。该级能够进行高达375mm的X-Y运动,并可选择添加Z轴扫描功能,从而使晶片在3个轴上移动。舞台还设有低振动选项。光学成像由激光共焦轮廓测量（LCP）、可见光反射（VLR）成像和扫描白光干涉测量（SWLI）相结合提供，实现了全表面成像和完整的缺陷覆盖和表征。运动控制平台由高性能运动控制器提供动力，运行在西门子S7 PLC平台上。此运动控制器可同时进行开环和闭环控制,具体取决于特定的应用程序。该单元具有集成的光学控制，对整个扫描区域的舞台运动提供高精度控制。运动控制与多种传感器集成在一起，包括电容触摸传感器、激光扫描和用于缺陷分析的X射线显微镜。该机器由KLA分析和计量软件提供动力，该软件提供分析和报告功能，如整个晶圆表面的全设备表征、缺陷分析和图像分析。软件还包括全面的统计方法和算法，使过程优化和缺陷分析能够实时反馈。KLA RS55是一种通用、高度集成、可靠的晶圆测试和计量工具。它结合了先进的成像光学、运动控制和软件控制,提供了对表面拓扑和缺陷表征的完整覆盖和表征,使用户能够产生非常精确的结果。
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