二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293778052 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一种专业级晶圆测试和计量设备,专为高级故障分析而设计。它能够同时测试多达三个晶片,并提供有关其参数的全面数据,如缺陷、厚度、背面清洁度和潜在污染、平面度和平面度、厚度均匀度和表面粗糙度。其特点中，该系统配备了两台大功率真空扫描仪。采用摆杆设计，一个调整舞台倾斜，另一个调整对峙距离。这样可以准确扫描大多数晶片的整个区域。KLA RS55还包含一个高频聚焦控制，它提供了测量表面的精确聚焦。此外，TENCOR RS 55具有X-Y级单元，便于晶圆定位和扫描。这允许快速调整扫描区域,同时允许测试设备与晶圆中心精确对齐。它还控制z-motion，这有助于保持晶圆和测试设备之间的理想对峙。KLA RS 55还支持广泛的测试和分析任务，如FPRA（傅立叶功率反射仪分析）、NGR（非高斯反射率）和轮廓剖面图。也可用于测量尺寸从0.2nm到1mm的缺陷。其先进的图像处理使TENCOR RS-55能够按大小、形状、位置和相位准确检测和分类缺陷。RS 55配备了Prober接口，可以精确控制晶圆处理和温度敏感参数的测量。机器还具有全自动测试和数据显示功能，允许用户定义测试参数，最大限度地提高吞吐量，实时监控测试结果。配备了所有这些功能，TENCOR RS55提供关于任何给定晶片参数的精确、可靠和全面的数据。这使得它成为高级故障分析和过程控制不可或缺的工具。