二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293820679 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55晶圆测试和计量设备是晶圆测试、分析和检验的自动化解决方桉。它能够对半导体晶片的物理和电气性能进行高速、准确和可重复的分析。该系统结合了先进的成像、分析和控制来捕获和分析晶片属性测试，如CD/Critical Dimension、OPC/Protical Probe Correction、Defect Review、CD Uniformity High Frequence Metrology、Total Soundness、Visual、Chipal-off和bump Proumpination Cross。它还支持硅片和器件的高分辨率成像和分析，提供对器件性能和晶片制造工艺优化的更深入的洞察。KLA RS55单元基于一个平台,该平台包括开放式可配置机器体系结构和基于机器人的模块化处理工具、双级光学探测器、用于成像的高分辨率摄像头以及集成的计算机控制网络资产。它针对刀具寿命和精度进行了优化,具有许多功能,可实现高级功能,如对齐优化和在多个平面进行机械扫描。它能够成像，还包括一整套先进的光学计量工具。TENCOR RS 55的检测模型具有很高的适应性，提供各种晶圆尺寸、错综复杂的图桉几何形状和高分辨率空间位置的覆盖。因此,它支持CD结构、CD Uniformity和3D地形的超低剂量成像。该设备还支持高灵敏度和检测能力，具有检测CD非均匀性的FBRM设备，以及光学表征CD/OCD、OPC/OPC/OCD、FEOL/BEOL/FEOL Cross-section Metrology的CD结构和CD均匀性。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55系统设计为实现吞吐量优化,具有自动晶片盒接口、基于数据的DGC统一和用户友好的基于晶片的单元控制。TENCOR RS55通过监测和控制关键性能参数以及PID温度和压力设定点来支持过程控制优化，并采用先进的软件算法来驱动机器优化。此外,此工具还具有复杂的自动化功能,使操作员可以在不加干预的情况下将资产留到一夜之间运行。总之，KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55是一个提供高精度、重复性和可靠性的综合晶圆测试和计量模型。它旨在提供晶片物理和电气特性的全面覆盖,为成像、计量和过程控制提供一套集成的功能。而且，其精密的自动化和开放的配置支持使其成为满足半导体晶圆测试、分析和检验要求的理想选择。