二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9121410 待售

ID: 9121410
晶圆大小: 8"
Wafer metal metrology tool, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是最先进的晶圆测试和计量设备。它旨在提供各种半导体器件的精确测量,包括前端和后端组件。该系统将广泛的计量能力与先进的测试和测量技术相结合,提供无与伦比的准确性和可重复性。该单元有几种用于晶圆测试和计量的工具。它的主要组成部分包括:-晶圆转塔:原位晶圆转塔为即时晶圆测试提供了一个自动化的解决方桉。它有八个端口,可以容纳150毫米晶圆,还有多个不同的探头,以满足不同的测试需求。-蚀刻室:先进的紫外线蚀刻室设计,保证蚀刻层的准确测试。它具有高分辨率、多晶圆成像机和自动化对准工具,可重复性和准确性。-测量站:计量站为先进测量需求提供了一整套先进工具。它包括各种探针,包括最新的激光干涉仪和声学显微镜,以及扫描电子显微镜(SEM)功能。-定位站:分选站根据测试结果提供晶片分选。它使用内联和自动测试算法的组合来识别和隔离有缺陷的晶片。KLA RS55提供直观的用户友好界面,允许快速设置和使用。它具有很高的可扩展性,使其适合各种研究和生产应用。它也很容易整合到现有的生产系统中。该资产的设计考虑到了安全性和可靠性。它有几个冗余系统,以确保最佳性能和可靠性。此外,该型号符合RoHS标准,其气体和冷却系统符合或超过安全标准。除了先进的晶圆测试和计量能力外,设备还提供软硬件解决方桉。这样可以快速定制并与其他测试技术和平台兼容。总体而言,TENCOR RS 55是一个先进的晶圆测试和计量系统,提供无与伦比的准确性和可重复性。它非常适合研究和生产应用,并且具有很高的可扩展性,可满足各种需求。其用户友好的界面、安全功能和先进的计量工具使其成为任何半导体测试环境的绝佳选择。
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