二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9157661 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55晶圆测试和计量设备是用于晶圆表征的全自动、高通量计量平台。它采用先进的光学散射技术，以高精度和高精度测量薄膜厚度、粗糙度和光学常数等临界参数。该系统非常适合于通过（TSV）工艺、MEMS设备和3D集成技术的通硅。KLA RS55单元利用了最先进的、最先进的光学成像技术来提高精度。它采用了两种光学散射计，两者都使用零方程法进行精确的参数测定。机器根据独特的散射成像原理，从不同尺寸和特性的晶片中提取关键数据。此外，它的自动光学对准算法确保即使是最具挑战性的晶圆几何的精确表征。TENCOR RS 55配备了功能强大的车载数据分析套件，允许用户运行多个过程控制检查，实时分析晶圆数据。此工具还具有直观的图形用户界面（GUI）,通过将当前过程的结果与历史数据集进行比较来更好地了解当前过程。GUI可用于创建自定义操作配置文件、确保更好的流程控制以及生成报告。KLA RS 55的主要优点是对表面特征的鲁棒性、测量多参数的能力以及高吞吐量。刀具可同时测量超过10个参数,包括厚度、步高、光学常数和诊断。此外,KLA RS-55与专用的自动化流程控制（APC）软件结合使用,可确保性能可靠性和可重复性,以最大限度地提高流程产量。总之，RS 55晶片测试和计量资产为晶片表征和过程监测提供了可靠、经济高效的解决方桉。该模型的先进光学成像技术和自动化过程控制可提供准确、可重复的分析,确保晶圆过程中的最高质量水平。