二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9258171 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是为半导体制造商设计的尖端晶圆测试和计量设备。它使用具有先进算法的自动光学检查（AOI）来检测晶圆表面的缺陷，如颗粒、裂纹、划痕、空隙和小坑，分辨率低至50纳米。它与KLA 5 x SEM成像系统集成，并提供全晶圆计量能力，包括地形、晶圆曲率、表面映射、迭加和模式测量。KLA RS55使用强大的硬件和软件组件构建,使其能够在最恶劣的生产环境中保持可靠。其相机和显微镜单元使用最先进的成像光学和图像处理算法来收集高分辨率图像，从而能够进行各种各样的缺陷检查应用。TENCOR RS 55配备了自始至终自动参与晶圆过程的智能软件。该平台的高级算法，如ScreenOverlay，提供了跨多个晶圆到同一区域的晶圆数据的精确合并和映射。它还具有用户友好的图形用户界面（GUI），使操作员能够快速设置和控制晶圆测试和计量。PROMETRIX RS-55易于使用且功能强大的测量功能能够以最好的分辨率快速准确地检测缺陷。此外，它的8位和32位测量允许检测小粒子和其他微量级缺陷。其分析功能使光刻工艺能够快速准确地检测线缘和线宽属性。该机器包括LinkClean非接触式清洁工具，用于检查之间的晶圆清洁，或远程清洁污垢或细粒。KLA RS-55支持各种清洁战略，包括激光或化学/浸入式输送模式，用于表面污染清洁。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55提供可靠的晶圆测试和计量,用于高性能过程控制和改进产量管理。其高精度的光学成像、先进的算法、易于使用的GUI以及全面的清洁选项，使其成为半导体制造商的理想选择。