二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9265521 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55是一种晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体行业的需求。它可以用来分析晶片表面和测量其电特性。KLA RS55在单个系统中提供先进的高级光学、电阻和电容计量功能,从而减轻了对多个测试系统的需求。这一高性能单元在数据采集、分析和速度方面极其精确高效，同时提供可靠的数据质量。该机采用4轴电动XYZ级设计，可容纳直径高达300毫米的晶片。这允许晶圆地形图映射和以亚纳米精度测量小距离变化的能力。它还包括一个4象限晶片卡盘，无需手动旋转样品进行图像采集。TENCOR RS 55有一个激光光散射工具，经过校准，可以高精度测量电阻和电容参数。该资产配有一个位于光学柱内部的脉冲干涉仪，用作检测非常小的表面轮廓和粗糙度变化的参考光束。这种测量特性使得该模型非常适合集成电路制造的许多工艺步骤。PROMETRIX RS-55软件易于编程,可提供全面的分析和结果计算。此外，RS55能够渲染晶片的高分辨率图像并对其进行统计分析，以评估半导体过程。这些设备还可以与用于自动晶圆测试和计量的其他软件工具集成在一起。总体而言，KLA RS 55是一种先进可靠的晶圆测试和计量系统，旨在满足半导体行业的苛刻需求。它提供高精度的计量功能,具有无与伦比的准确性、高效的数据采集和可靠的报告,以及具有直观用户界面的丰富软件。这使得它成为任何半导体制造商的完美测试和计量单位。