二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9281547 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在为高级晶圆和芯片设计的表征提供全面的计量解决方桉。它是一个集成系统，具有几个特点，为各种高度的晶圆设计提供完整的分析和性能评估。KLA RS 55 TCA采用先进的激光技术进行缺陷检测。该单元使用的激光技术是用于明场、暗场、颜色计量的紧凑双模（CDM）成像机，以及用于检测较小缺陷的可选CDM在线迭加测量。此外，一些自动化的非激光光学设计工具，如光学亮场和暗场，计量和迭加可以包括在工具。双视图光学资产可以在多个晶圆站点同时进行缺陷检查和迭加计量测量。该型号在X-Y轴上的最大视野高达500 mm，最大工作距离为4-5mm。它能够区分和测量小至0.25 μ m的缺陷与基板表面。该设备的其他特点包括高速线扫描模式和具有专用信号处理算法的宽Mura测量范围。该系统采用高速图像分析框架,通过减少计算机负载实现更快的图像处理时间。它由一个独特设计的集成晶圆输入/输出自动化单元支持,该单元有助于提高吞吐量。除了硬件功能外,TENCOR RS-55/TCA还配备了高级软件包,可提供分析和监控功能以及用户友好界面。软件可以提供有关流程周期的全面报告,包括缺陷图、趋势图和缺陷管理/统计流程控制（SPC）。软件驱动的机器能够有效地收集数据,以帮助识别、确定优先级并减少质量和产量损失。PROMETRIX RS-55 TCA是一个全面且经济高效的解决方桉,用于对高级晶圆和芯片进行全面测试和计量。它提供可靠的性能,并为完整的评估周期提供端到端分析。