二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9284327 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一种设计用于半导体制造的快速、精密的晶圆测试和计量设备。它将高分辨率、自动化成像与半自动测量相结合，允许对半导体晶片进行详细的分析和评估，具有出色的可重复性和准确性。KLA RS 55 TCA配备了架空远心光学系统，可容纳尺寸可达8英寸的晶片。该单元可对测试晶片进行高精度成像,包括微观和宏观特征,以及具有扫描电子显微镜（SEM）功能的3D深度剖析。这台集成成像机提供小至0.5微米的图像分辨率偏差。高分辨率成像工具允许用户检测纳米级缺陷、薄膜厚度和临界参数测量。TENCOR RS-55/TCA的计量能力启用了迭加、聚焦和可重复性、光谱比较、缺陷检测、模式匹配和蚀刻深度等自动化测量。此外,KLA RS-55 TCA还配备了高级软件,用于自动分析和报告检查结果。该软件能够控制资产仪表、测量参数和生成各种格式的报告。例如，软件配备了统计过程控制（SPC）和问题解决工具，以及可定制的掩码限制数据库。最后,TENCOR RS-55 TCA采用气候控制操作,使其能够保持无懈可击的温度和低波动,以确保结果的最高精度和可重复性,即使同时运行几个晶片也是如此。PROMETRIX RS 55 TCA是一个功能强大、可靠的晶圆测试和计量模型，提供精密成像和测量能力，具有一流的准确性和可重复性。它是需要高分辨率成像和快速周转时间的半导体制造和测试应用的理想解决方桉。