二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9293260 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一种高精度晶圆测试和计量系统,专为半导体生产环境中的高级过程控制而设计。它将高级自动化缺陷检测和分类功能与完整的3D地形映射和电阻率分析相结合。KLA RS 55 TCA的自动化成像光学器件以高分辨率提供了广阔的视野,以确保卓越的检测和分类能力。该系统具有专利、创新的自动对焦能力，对图像进行连续评估，并对成像镜头进行校正，以确保最大清晰度和图像保真度。它还结合了用于高精度地形图的动态制图技术。TENCOR RS-55/TCA能够以无与伦比的精度和可靠性检测纳米级缺陷。其专利缺陷分类系统利用概率技术，对复杂缺陷进行了可靠的快速检测和分类。这样可确保仅报告重大缺陷。它还能够进行先进的缺陷分析，包括3D光学剖面图和电气测量，从而能够测量蚀刻深度和电阻率等特性。KLA RS-55TCA通过其复杂的软件体系结构提供了可追踪性和可重复性。它的多种配方以及全自动成像和计量过程使操作员能够快速设置和测试一系列设备。这导致吞吐量增加、缺陷率降低和制造业产量提高。RS-55TCA具有模块化设计,是开放式体系结构,可轻松集成到其他生产过程和机器人系统中。其坚固、模块化的结构和卓越的机械结构质量保证了在恶劣的工业环境中的性能。结合KLA世界一流的应用特定软件,RS-55 TCA为晶圆测试和计量提供了总体解决方桉。