二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9300181 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一种先进的晶圆测试和计量设备，提供晶圆上集成电路和薄膜结构的集成计量和缺陷审查。KLA RS 55 TCA是经过KLA验证的计量和缺陷审查能力与获得专利的TENCOR晶片测试过程相结合的结果。将这两个过程集成到TENCOR RS-55/TCA中，可以确保高质量的计量和快速、可靠的缺陷识别。该系统配备了具有激光自动对焦单元的高精度光学显微镜、自动化图像处理子系统和可识别表面和地下缺陷的扫描电子显微镜（SEM）。机器还提供实时缺陷检查和审核功能。光学器件可以对0.1微米的特征结构进行成像。RS-55TCA包括模具或测试芯片识别、自动聚焦参数调整、最低对比度和阈值控制、实时缺陷大小和缺陷区域测量、缺陷大小分布分析、直方图分析、不同类型缺陷的模式识别、自动生成报告等多种成像功能。它还提供自动化和交互式晶片审阅模式，允许用户快速查看和分析晶片或子晶片级别上的缺陷。该工具设计用于清洁环境，但也能够在一定温度、湿度和压力范围内操作。此自适应功能使资产成为各种行业应用的理想选择。KLA RS-55TCA模型的主要优点是,它能够通过将PROMETRIX着名的计量和缺陷审查功能与高精度光学和SEM成像技术相结合,快速识别和分析晶片上的缺陷。因此,用户可以期待更快、更准确的过程控制和提高产量。此外,设备还可以缩短上市时间,提高客户满意度。