二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9312925 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是专门为满足半导体行业复杂需求而设计的晶圆测试和计量设备。该系统利用了光学和激光器方面的最新进展，实现了晶圆表面的高速、非接触式扫描。精确测量掺杂剂深度、缺陷尺寸、电阻率、蚀刻深度、划痕深度和SEM参数等器件参数。该装置能够比最近的传统扫描机器快500倍地检查晶片。它的灵活性允许高吞吐量和可重复的测量，无论晶圆大小。它还带有集成的表面分析、过程监控、缺陷检测和计量软件。KLA RS 55 TCA利用广阔的视野来获得最高的测量精度。它包含了先进的近场成像能力，提供洞察晶圆上的子测距结构。此外,它还具有远景光源和成像光源,用于晶圆检测.视觉工具的像素分辨率为30 μ m，可以快速可靠地分析临界晶片特性。TENCOR RS-55/TCA是一种全自动资产。它采用了完全集成的机器人和视觉模型，允许不间断和准直扫描晶圆。该设备允许同时进行数百次晶圆测量，并且能够在一小时内测量多达1000个晶圆。该系统可以评估清洁度、表面光洁度和污染程度。此外,视觉功率可调节,以适应各种晶圆尺寸,包括最小的芯片。PROMETRIX RS-55/TCA内置软件和数据分析工具,具有完全符合标准的协议。其软件提供自动特征识别、故障隔离和统计数据趋势。此外，这一单位提供了自动化和高精度操作所必需的情报。TENCOR RS-55TCA设计用于三维光学表面的检查、测量和数据记录。它有助于全面了解晶片及其关键参数，以进行产量优化的最佳调整。总而言之,PROMETRIX RS 55 TCA是当今快速变化的半导体行业理想的晶圆测试和计量机器。