二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TC #293761701 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TC是为半导体制造商设计的高端晶圆测试和计量设备。它使用户能够精确测量临界半导体参数,如厚度、组成和物理尺寸。KLA RS75/TC的高分辨率光学显微镜（30纳米）、光学图像分析工具和最先进的算法可提供卓越的扫描能力。该系统使用先进的自动晶片定位器，快速准确地扫描各种晶片格式，而用户的参与程度却很低。它还具有快速的数字图像关联（DIC）功能,可在扫描初始晶片后精确测量晶片特征的几分之一秒。TENCOR RS-75TC还配备了自动化的舞台升降机单元和TraxWriter分析,这是一个强大的分析包,专为可追踪性、可重复性和灵活性而设计。TraxWriter允许用户创建多达9个扫描定义,这些定义可用于标识诸如坑显示、粒子计数和基准标记等特征。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75/TC还能够测量许多其他参数,例如薄膜厚度、地形、接触电阻和光学质量。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75/TC还具有多种可选工具,可以添加这些工具来增强测量功能。这些包括热卡盘适配器，允许晶片定位器在被测试时容纳加热的晶片，以及减少磨损和延长探针寿命的探针清洁器。激光上浆模块可用于更精确、更精确地测量薄膜厚度，而泄漏定位器可帮助操作员检查和识别晶圆表面的泄漏。总体而言，KLA RS 75/TC是一种用于晶圆测试和计量的综合机器。它为用户提供高分辨率光学、高级算法、自动升降机以及一系列可选组件,以实现对关键半导体参数的更好、更快的测试。通过提供卓越的扫描功能和精确测量,此工具非常适合那些希望改进制造工艺和提高吞吐量的半导体制造商。