二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TCA #9135668 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TCA是一种高度先进的晶圆测试和计量设备,旨在提供各种晶圆参数的可靠和快速的数据检索。它在工业生产环境中用于测试、测量和分析过程控制和工程中使用的晶圆特性。KLA RS75TCA利用顶级光学和相机技术提供有关晶圆特征和缺陷的无与伦比的信息。这包括诸如厚度、覆盖公差、线条和空间宽度以及临界尺寸高度等特征。此外,系统还可以识别和测量缺陷宽度、高度和面积。TENCOR RS-75TCA使用三轴扫描级，能够以极高的精度运动，以确保准确的数据捕获和测量。舞台由最先进的运动控制驱动，可提供高达10纳米的运动分辨率。该单元还采用了一个专利和创新的动态自动对焦，可以快速和精确地创建有图桉的结构的焦点图像。这台机器的电容式干涉显微镜提供了卓越的光学和测量分辨率，使用户能够识别尺寸不超过1微米的小特征。干涉显微镜允许微量晶圆检查和先进的CD-SEM和AFM成像。除了精确RS-75测量功能外,TCA还包括多种功能强大的功能,可实现快速测试和数据分析。这些包括实时晶圆映射、自动缺陷检查以及复杂的数据趋势、可视化和分析。这使工具能够快速识别可用于提高吞吐量和产量的流程偏差。TENCOR RS-75/TCA是一种极其可靠和具有成本效益的生产工具,可用于多种行业。其无与伦比的准确性使操作员能够快速测试、测量和分析晶圆特性和缺陷，从而实现受控过程优化。