二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293600178 待售

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ID: 293600178
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75晶圆测试和计量设备提供了多种创新和先进的功能。KLA RS75能够进行二级和晶片级的检测和计量,分析到原子级的完整微电子结构。TENCOR RS 75系统配备了0.2微米的高度精确的光学分辨率,使其能够以高保真度和准确度测量特征。它能够对各种波长和探测器进行测量,包括红外(IR)探测器和多个阴极发光探测器。RS75具有高分辨率,非常适合检查和测量极薄晶片的特性,例如用于制造集成电路或薄膜晶体管的晶片。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75能够测量各种物理特性,例如厚度、宽度和高度,以及电阻和电容等电气参数。可用于检验和测量样品的材料成分,包括制造过程中使用的特定金属、氧化物和其他材料。再者,RS 75可用于测量各种环境条件可能造成的腐蚀、氧化和其他现象。该单元还能够执行广泛的二次分析,包括缺陷检测和表征、晶界分析、自动缺陷分类、tapeout可视化和半导体过程建模。它还可以生成自动测试报告和结果文件,用于查看结果和识别故障模式。RS-75台机器还提供了一个用户友好的控制软件界面,可以方便地编程和控制设备。这为用户提供了快速调整工具参数以适应不断变化的应用程序要求的灵活性。PROMETRIX RS 75资产是高精度晶圆测试和计量的完美解决方桉。它能够快速、准确、可靠地测量各种物理和电气特性,为用户提供了轻松调整模型参数以适应不断变化的应用要求的灵活性。TENCOR RS75具有高分辨率和广泛的二次分析,是了解和调整微电子器件生产中复杂制造工艺的有效工具。
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