二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293628452 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
ID: 293628452
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一种晶圆测试和计量设备,可提供对半导体基板的电气和机械性能的高度精确的测量。该系统专门配置用于测量半导体工业中使用的多种材料的性质,如绝缘体、金属和其他重迭层。该仪器的卓越性能和易于使用的接口提供了多用途的数据采集和分析功能。KLA RS75具有高度稳定的自动化多级扫描功能,可准确跟踪表面残余应力和应力相关参数。这次多级扫描在地形、表面粗糙度、厚度等三个维度上快速测量晶片的表面尺寸特征。该单元还包括一个集成的自我校准程序,以确保常规的自我校准精度。TENCOR RS 75具有稳定的基于压电的驱动器和广泛的测量范围,可提供精确且可重现的结果。TENCOR RS-75采用模块化体系结构进行设计,以实现高效的测试站运行。各种样品支架和夹具以及可定制的扫描参数可用于晶圆测试。还提供了多个示例扫描选项,例如X-Y扫描、线扫描和循环扫描。此外,多个视频输入选项允许在测试期间对样品进行实时成像。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75配备了直观的图形用户界面,允许用户自定义参数、监控测试过程以及查看测试结果。易用性特性使其成为半导体技术专家的热门选择。为了便于数据采集和分析,该机器包括一系列数据分析工具,如应力/应变分析和寿命应力分析。PROMETRIX RS-75具有多种功能,是测量和分析半导体基板的电气、机械和尺寸特性的重要工具。这种晶圆测试和计量工具具有优异的性能,具有可靠的数据准确性和可重复性,是任何半导体相关应用的理想选择。
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