二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293677302 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一种领先的晶片测试和计量设备,旨在对半导体晶片的产量临界和设计临界尺寸进行准确可靠的测量。KLA RS75具有先进的自动光学检查系统和5向光学晶片头,使其能够在单个晶片测试周期内执行各种计量操作。该单元包括一个高分辨率、高精度的直线级，可在2 μ m的精度范围内进行测量，以及一个大真空卡盘，以确保晶片的牢固和稳定。此功能有助于在单个模具上同时测量三个或更多测试/计量点,从而节省时间并确保高效的过程吞吐量。TENCOR RS 75还设有一个专门的高性能离轴照明机，被称为Defeo-Illuminator，以接近法线角度投射光线到晶圆表面。这有助于改善检查过程中的图像对比度和分辨率,从而能够可靠地识别缺陷类型和位置。此外，Defeo-Illuminator还得到各种相机技术的支持，使该工具能够获得高质量的图像，用于反射和非反射测试和计量应用。TENCOR RS-75基于开放式体系结构软件,可轻松与第三方软件解决方桉集成以进行数据分析和可视化。此外,该资产还附带了一套高级软件工具,使用户能够快速准确地校准、验证和分析测量结果。这使模型能够提供可重复的测量,从而确保在生产环境中使用时的最高一致性和准确性。最后,PROMETRIX RS 75设备附带了一整套资源和支持包。这可帮助客户充分利用系统,最大限度地减少停机时间,并最大限度地提高产量。KLA始终愿意回答查询并提供技术帮助，让客户充分利用他们的KLA RS 75单元。