二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293745457 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75晶圆测试和计量设备是一种用于检查和分析半导体设备设备参数的高性能、全自动工具。它提供了广泛的高级功能来帮助表征、验证和质量控制过程。KLA RS75提供了一个多合一的解决方桉,其特点是具有检查、反射检查和IV曲线的高分辨率成像站、先进的计量系统和强大的数据分析工具。该成像站利用数字图像关联（DIC）技术实现真正的3D高分辨率成像,可用于高分辨率缺陷和临界尺寸（CD）检查。TENCOR RS 75上的反射检查单元是为了侦测粒子、线缘粗糙度等会影响装置性能的非均匀因子等光学干扰而设计。机器还提供高级统计（SPC）和现场缺陷分析，以检测可能指示更大问题的异常模式。除了成像和反射功能外，RS-75还配备了一个功能强大的计量工具，用于精确测量设备参数。这包括前沿边缘放置精度（EPA）和过程控制能力（PC-C）以及用于体积测量和过程控制的高速多芯片计量资产。计量模型还包括各种薄膜厚度测量特征和一系列晶圆类型和技术的数据分析能力。最后，该设备配备了一个全面的数据分析套件，该套件具有分析成像和计量数据的先进工具。这套工具将强大的可视化功能与全面的统计数据和特征分析相结合,使用户能够快速识别本地和全球流程趋势。PROMETRIX RS 75晶圆测试和计量系统具有强大的集成功能,是现代半导体表征、验证和质量控制过程的理想解决方桉。