二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9097164 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一种晶圆测试和计量设备,为半导体行业提供卓越的表面检查和缺陷检测能力。该系统是晶片生产测试的理想解决方桉，为用户提供可靠准确的测试结果。KLA RS75具有晶片处理平台,可支持6英寸大小的5英寸晶片。这使设备能够在一系列产品测试配置中使用。晶片采用光学和电气技术相结合的方式进行检查。4英寸乘4英寸成像阵列用于晶片的光学成像,电气测试使用特定的传感器配置来检测产品和工艺故障。TENCOR RS 75采用自动化数据采集技术,单次提供晶圆表面成像和可靠性测试,通过其高性能图像处理算法优化了机器的性能,在一系列应用中实现了可靠的灵敏度。这包括扫描表面拓扑缺陷、污染、沉积和空隙,以及设备故障分析。该工具还支持各种缺陷测量,如缺陷高度、缺陷间距、缺陷深度和缺陷最小/最大尺寸。该资产与用于晶圆处理的机械臂集成在一起，可用于晶圆检查和计量。机械臂的精确运动范围为+/-0.02毫米，可到达周围装置进行光刻和屈服管理。此外,模型的可重复性和精度在0.2微米级测量时指定了最大+/-0.1毫米。RS75还配备了先进的硬件和软件控制系统，以确保设备在整个过程中保持稳定。这包括每像素42毫秒的数据采集速度、手动和自动图像捕获以及高级波形处理功能。此外，该系统可与其他系统连接，以支持实时分析和测量结果的数据记录。PROMETRIX RS-75是半导体生产测试的理想解决方桉,可提供可靠、准确和可重复的结果。利用先进的硬件和软件控制系统,该设备提供卓越的表面检测和缺陷检测功能,以确保获得最高质量的结果。