二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9153014 待售
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已售出
ID: 9153014
晶圆大小: 2"-8"
优质的: 1996
Resistivity mapping system, 2"-8"
Handler:
Desktop
Without wafer transfer handler
Pentium Pro 150 MHz Computer
64M DRAM
High resolution LCD color monitor, 15"
Hard Disk Drive (HDD): 200M
Diskette drive, 3.5"
Capacity: 1.44 MB
Data transfer: SECS II / RS232 Communication
Measurement capabilities:
Routine check: 1-30 Sites programmable (ASTM Standard tests included)
Contour / 3-D Map, diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 Sites
XY Map: Up to 1200 sites programmable
Probe qualification: 20 Sites
Single / Dual configuration options
Analysis capabilities:
Contour, XY Die, 3-D surface maps
Diameter scan
Trend charts
SQC Charts
Histograms
Probe qualification procedure
File editing and data extraction capability
Calibration curves for low-dose monitoring
Average, difference and ratio maps
Measurement specifications:
Range: 5 mΩ/sq - 5 mΩ/sq
Typical measurement time: 1.2 sec per test site
Based on NIST (NBS) standard wafers corrected to 23°C
Repeatability: <0.2% (1 Sigma)
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一种高精度晶圆测试和计量设备。该系统具有0.2纳米的先进测量精度，非常适合晶圆表征需要。它还为平面和3D形状测量提供成像功能。该单元由功能强大的软件包组成,旨在管理所有不同的组件,允许用户配置其计算机设置,并与KLA高级计量和测试解决方桉集成。软件套件由各种模块组成，允许用户进行校准、分析数据和创建报告。KLA RS75配备了专有的视觉工具，其中包括提供自动对焦调整和优化相机曝光控制的集成对焦调谐器。这种传感器利用高分辨率的2048-by-1536光石阵列来捕捉样品的图像。此外,它还具有先进的自动对焦资产,使模型能够在将样品呈现给视觉设备时自动调整焦点平面。TENCOR RS 75还集成了自动采样功能,用户可以在晶圆测量之间快速切换。通过使用高分辨率ASIC和高速电动机，系统允许样品以1,000毫米/秒的速度移动。这使用户能够最小化测试时间表并最大化输出。该装置配有各种探针和传感器。Timedelay integration （TDI）为测量特征的高度、宽度和深度提供了最大数量的关键非接触测量能力。它还有一个可变光学机器，允许用户调整TDI工具捕捉到的图像的缩放倍率，提供详细的3D图像。此外，该资产还包括各种视觉系统，适用于从映射到边缘检测的应用。它还有各种各样的检查工具，从线路末端测试到晶圆缺陷检测。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75具有增强的用户界面、用户友好的控件和强大的分析功能,非常适合要求最苛刻的项目。
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