二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9172359 待售

ID: 9172359
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在实现前沿半导体器件的制造。该系统采用复杂的算法和先进的自动化技术,为分析先进半导体产品的特性促进复杂的测量过程。KLA RS75在低能耗水平下以高吞吐量和准确性运行。它采用了获得专利的SixAxis TM测量技术,结合了几种先进的信号处理算法,为用户提供了精确的样本测量。该单元可用于各种晶圆测试应用,从一般的电气测量到复杂的应力测试。该机器由一个12.5 μ米的光学测试头组成,非常适合在硅片上测试小特性。它的检测范围为0.5-3.5mm,使其能够为微米级测试提供增强的设置。而且,该工具与一系列不同的基材材料兼容,如聚酰亚胺、Kapton®、环氧树脂、自旋玻璃(SOG)以及其他用于敏感半导体器件的材料。它还内置了防粘算法,使其能够执行静态非接触式测量,为用户在测试敏感样品时提供更高的可靠性和准确性。TENCOR RS 75还配备了强大的成像算法和3D计量能力,使其能够在更快的周转时间内以高精度分析样本。这一资产还能够进行缺陷检查,使其能够在极小规模的试验场检测到模具异常和异常。此外,它的完全自动化功能使配置和使用变得容易,因为它提供了直观且用户友好的操作模型。总体而言,RS 75是一种有效的晶圆测试和计量设备,非常适合半导体生产行业的领导者。它采用先进的SixAxis TM测量技术,并配有智能成像算法和用于精确样品测量的3D计量功能。该系统还能够快速、准确地检查缺陷,具有完全自动化的功能,便于配置和使用。
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