二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9296599 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75晶圆测试和计量设备是一种全自动、高通量的解决方桉,旨在满足半导体工艺和器件表征的挑战性需求。KLA RS75提供了一套集成的光学计量工具，包括临界尺寸（CD）测量、晶圆形状（WS）测量、表面纹理（ST）测量和过程控制。TENCOR RS 75的工作原理是将激光器引导穿过晶圆，并通过锥体镜收集数据点。这种先进的光学扫描系统能够测量到亚微米分辨率。坚固的光学子系统与支持晶片并将其移动到不同位置进行进一步分析的自动化材料处理平台相结合。此外,该设备还采用了最先进的对准和定位技术,可提供亚微米的可重复性。配备先进的分析软件，TENCOR RS75可以快速收集广泛的特性，生成复杂的3D地图和图形。与传统的手动技术相比,这台高精度的机器提供了精确且可重复的测量结果。在全球范围内,RS75被用于识别潜在的工艺偏移,然后再导致产量损失。实时流程信息可以主动控制数据收集和后续分析,从而大大缩短了识别和描述潜在流程偏移的时间。PROMETRIX RS75具有高吞吐量、快速周转和卓越的数据完整性,为测量用于过程控制和设备特性的晶片提供了出色的解决方桉。