二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9396481 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一种高端自动化晶圆测试和计量设备，旨在满足不断增长的半导体行业的需求。其特点包括高精度、多轴检测器，能够同时检测多达16个晶圆。该系统具有高分辨率的检查和计量能力，可以选择在检查方面提高分辨率，在计量方面提高准确性。KLA RS75配备了支持200 mm以上各种晶片尺寸的大环级，最大转速为24 rpm，最大扫描速度为13.7mm/s。探测器具有内置智能，能够自动识别缺陷。在测量能力方面，TENCOR RS 75配备了高度灵敏、多轴单元和33个光电倍增管基探测器阵列。这台机器提供了从1 X到4000X的放大倍数的检测功能。该工具能够测量多个参数,如表面地形、粒子密度、线宽、表面平面度、光学参数、CD/x 尺寸/y尺寸、对比度和线边/空间粗糙度,以及3D电路和封装模具堆栈的关键尺寸。此外,该资产还具有模式识别软件,当与多轴测量模型结合使用时,可提供快速、准确的结果。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75利用多种技术来确保高精度和可重复性,包括舞台的自动表面校准、自动对焦检测以及用于线宽测量和模式识别的高级算法。它还配备了几个物理屏蔽装置，以尽量减少设备噪音，并配备了一个集成的粒子计数器，以捕获洁净室和样品污染数据。该系统还能够存储多达200万张图像，用于检查和分析过去和现在的数据，以提高产量，进行根本原因分析和材料擦洗。TENCOR RS75除了具备通用的测试和计量功能外,还提供了一套全面的软件。其全套软件提供高级编程、测量设置、数据处理和分析功能。它还包括用于查看和分析晶片、覆盖多个图像以及比较数据集的软件。此软件旨在使工程师能够快速准确地审阅数据并进行实时分析。此外，作为包装的一部分，RS 75包括一个针对半导体制造需求的工艺控制应用工具箱，如装箱和快速访问关键工艺参数。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75是高精度晶圆测试和计量的理想解决方桉,适用于多种应用,包括高性能设备和光束转向MEMS。其精密的探测器提供了高分辨率的扫描单元，而其集成的测量和数据处理工具使工程师能够快速准确地分析测量和访问关键过程参数。PROMETRIX RS 75具有存储大量数据的能力和全面的软件套件,为晶圆测试和计量提供了一个多功能的解决方桉。