二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 150C #9112579 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 150 C是一种高端晶圆测试和计量设备,其设计目的是提供对复杂过程的过程控制和分析,并提供最大吞吐量。KLA SM 150 C的特点之一是配备了专门的成像系统，捕捉晶圆2D和3D表面特征的高分辨率图像，允许进行深入分析以检测异常、缺陷和不规则性。机载处理和智能算法支持先进的计量学功能,包括自动缺陷检测和粒子大小确定。该装置还拥有一个高精度的电动X-Y级，晶片在成像和测试期间驻留在该级上。TENCOR SM 150 C是Smartscan家族的一部分，通过有源光学器件、激光自动对焦机和光学图案识别确保了精度和重复性。此工具可以灵活地调整到各种基板、传感器和样品类型。步长测量是通过其先进的共聚焦传感技术能力和支持底物分析和高级产量控制功能的综合软件工具来进行的。作为Smartscan系列的一部分,PROMETRIX SM 150 C资产可以与其他晶圆级计量工具集成。SM 150 C提供了一个用户友好的触摸界面，以增强导航和可用性，一个基于窗口的软件包，用于控制测量和访问现成的计量软件，如SEMulator3D（3D扫描电子显微镜）和Quaterx（基于GDS的自动对准）。对模型进行了优化，以提供快速的吞吐量和不妥协的亚纳米精度，从而实现高度可靠的工艺控制。此外，该设备为单一仪器设置和集群安排提供了灵活性和可扩展性。KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 150 C系统配备了多项功能,可确保实现最大的功能和价值,例如先进的视觉单元、泄漏检测、平坦度测量以及全天候控制和产量监控。此外,计算机还提供了扩展的数据保护功能,包括快照功能和防篡改功能。KLA SM 150 C在KLA业界领先的客户服务支持下,是用于过程控制和分析的最先进、最全面的晶圆计量系统之一。从薄膜测量和基板计量到质量控制和缺陷分析，TENCOR SM 150 C提供了质量、速度、可靠性和可扩展性，以支持广泛的过程控制和计量应用。